太陽能電池結構、製造方法及其製程載具 SOLAR CELL STRUCTURE, MANUFACTURING METHOD AND PROCESS CARRIER OF THE SAME
申請人· 長生能源股份有限公司 EVER ENERGY CO., LTD. 桃園市中壢區中園路156號 TW


專利信息

專利名稱 太陽能電池結構、製造方法及其製程載具
公告號 I517429
公告日 2016/01/11
證書號 I517429
申請號 2013/10/07
國際專利分類號
公報卷期 43-02
發明人 林金龍 LIN, DANIEL; 曾玉珠 TSENG, YUCHU
申請人 長生能源股份有限公司 EVER ENERGY CO., LTD. 桃園市中壢區中園路156號 TW
代理人 蔡坤財; 李世章
優先權
參考文獻 TW201135962A; TW201222639A; TW201234614A; CN101728445B; CN102203317A
審查人員 楊子賢

專利摘要

一種太陽能電池製造方法,包含:提供具有第一及第二表面之晶片;於第一表面進行離子擴散製程,以形成掺質層;提供與平板載台電性連接之圖樣電極;將晶片之第二表面置於圖樣電極上,以使第二表面形成圖樣區域及非圖樣區域;使晶片藉由距晶片之第一表面特定距離處之第一電極以及平板載台及圖樣電極形成之第二電極施加之電場,通入沉積氣體以產生電漿進行化學氣相沉積製程,以同時於第一表面形成第一鈍化薄膜以及於第二表面之非圖樣區域形成第二鈍化薄膜;移除圖樣電極;以及於圖樣區域填入金屬結構,以提供局部背電場。


專利範圍

1.一種太陽能電池製造方法,包含:提供一晶片,該晶片具有一第一表面以及一第二表面;於該第一表面進行一離子擴散製程,以形成一掺質層;提供與一平板載台電性連接之一圖樣電極;將該晶片之該第二表面置於該圖樣電極上,以使該第二表面被該圖樣電極接觸遮蔽處形成一圖樣區域,以及使該第二表面未被該圖樣電極接觸遮蔽處形成一非圖樣區域,其中該非圖樣區域和該平板載台間具有一空隙;於距該晶片之該第一表面一特定距離處之一第一電極施加一第一電壓,以及於該平板載台上施加一第二電壓,其中該第一電壓和該第二電壓間形成一電場;於該電場通入一沉積氣體以產生一電漿進行一化學氣相沉積製程,以同時於該第一表面形成一第一鈍化薄膜以及於該第二表面之該非圖樣區域形成一第二鈍化薄膜,其中係以該圖樣電極為遮罩於該第二表面之該非圖樣區域形成該第二鈍化薄膜;移除該圖樣電極;以及於該圖樣區域填入一金屬結構,以提供一局部背電場。 2.如請求項1所述之太陽能電池製造方法,其中該晶片係與該平板載台平行,該第二表面未被該圖樣電極接觸遮蔽處係與該平板載台間具有一空隙,以形成該非圖樣區域。 3.如請求項1所述之太陽能電池製造方法,其中更包含由一第一電壓源提供電壓至該第一電極,以及由一第二電壓源提供電壓至該第二電極。 4.如請求項3所述之太陽能電池製造方法,其中該第一電壓源及該第二電壓源其中之一者為一正電壓,另一者為一接地電位。 5.如請求項1所述之太陽能電池製造方法,其中該金屬結構之材質包含鋁、氧化銦錫、鎳銅、鈦或錫。 6.如請求項1所述之太陽能電池製造方法,其中該沉積氣體包含SiH4及NH3、SiH4及N2O、Al(CH3)3及N2O或Al(CH3)3及CO2。 7.如請求項6所述之太陽能電池製造方法,其中該第一鈍化薄膜以及該第二鈍化薄膜之材質包含Si3N4、SiO2或Al2O3。 8.一種太陽能電池結構,包含:一晶片,具有一第一表面以及一第二表面,其中該第一表面具有一掺質層,該第二表面置於一圖樣電極上,以於該第二表面上形成被該圖樣電極遮蔽的一圖樣區域,以及未被該圖樣電極遮蔽的一非圖樣區域;一第一鈍化薄膜,形成於該第一表面上;一第二鈍化薄膜,與該第一鈍化薄膜同時形成,並形成於該第二表面之一非圖樣區域,其中係以該圖樣電極為遮罩於該第二表面之該非圖樣區域形成該第二鈍化薄膜;以及一金屬結構,形成於該第二表面之該非圖樣區域外之一圖樣區域,以提供


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專利資訊及圖示來源: 中華民國專利資訊檢索系統