處方及元件控制模組與其方法 A RECIPE-AND-COMPONENT CONTROL MODULE AND METHODS THEREOF
申請人· 蘭姆研究公司 LAM RESEARCH CORPORATION 美國


專利信息

專利名稱 處方及元件控制模組與其方法
公告號 200908072
公告日
證書號
申請號 2008/03/27
國際專利分類號
公報卷期 07-04
發明人 黃中和 HUANG, CHUNG-HO;安德魯 呂 LUI, ANDREW
申請人 蘭姆研究公司 LAM RESEARCH CORPORATION 美國
代理人 許峻榮
優先權 美國 11/693,664 20070329
參考文獻
審查人員

專利摘要

處方及元件控制模組與其方法簡圖

一種處方及元件控制模組。該處方及元件控制模組係一伺服器,以複數個元件用來在一電漿處理系統中執行資料管理。該處方及元件控制模組包括複數個智慧型代理器。該等複數個智慧型代理器中之各智慧型代理器用以與該等複數個元件中之各元件互動。該處方及元件控制模組亦包括一協調型代理器,該協調型代理器用以從該等複數個智慧型代理器接收已處理資料。


專利範圍

1.一種處方及元件控制模組(RACCM),該處方及元件控制模組係為一伺服器,於具有複數個元件之一電漿處理系統中執行資料管理,該處方及元件控制模組包含:複數個智慧型代理器,該等智慧型代理器中之各智慧型代理器係用以與該等複數個元件中之各元件互動;及一協調型代理器,該協調型代理器用以從該等複數個智慧型代理器接收已處理資料。
2.如申請專利範圍第1項之處方及元件控制模組,更包括一數個供應型代理器之集合,該數個供應型代理器之集合用以執行處方管理,該處方管理包括將一處方之至少一部分分配給該等複數個智慧型代理器及該協調型代理器之中至少一者。
3.如申請專利範圍第2項之處方及元件控制模組,其中該等複數個智慧型代理器中之該各智慧型代理器包括用來為該等複數個元件中之該各元件界定數個設定需求的智慧,該等設定需求包括用來傳送一資料檔案給該等複數個智慧型代理器中之該各智慧型代理器的數個準則,該等準則係基於儲存在該等複數個智慧型代理器中之該各智慧型代理器本身之該處方的該部分。
4.如申請專利範圍第3項之處方及元件控制模組,其中該等複數個元件在將該資料檔案傳送給該等複數個智慧型代理器之前,採用該等設定需求來執行對該資料檔案的預先處理。
5.如申請專利範圍第4項之處方及元件控制模組,其中該等複數個智慧型代理器中之該各智慧型代理器包括一快取記憶體,該快取記憶體用以儲存至少最近期之資料檔案以施行資料鎖存。
6.如申請專利範圍第5項之處方及元件控制模組,其中該等複數個智慧型代理器中之該各智慧型代理器執行該資料檔案之資料分析,以產生一特徵資料,該特徵資料係針對該資料檔案之總結資料。
7.如申請專利範圍第6項之處方及元件控制模組,其中該協調型代理器用以從該等複數個智慧型代理器中之各智慧型代理器接收該特徵資料,該協調型代理器執行資料分析來產生一複合特徵。
8.如申請專利範圍第7項之處方及元件控制模組,其中該協調型代理器包括用來基於該複合特徵而提供指令給該等複數個元件的智慧。
9.如申請專利範圍第8項之處方及元件控制模組,其中該等複數個元件包括一處理模組、一感應器及一量測工具之其中至少一者。
10.如申請專利範圍第1項之處方及元件控制模組,其中該處方及元件控制模組包括用來執行自我發現以辨識對該電漿處理系統之變更的智慧,該自我發現包括辨識該等複數個元件中之一元件何時連接到該電漿處理系統。
11.一種包含一程式儲存媒體之製品,該程式儲存媒體內具有電腦可讀程式碼,該電腦可讀程式碼用以針對一電漿處理系統執行資料管理,該製品包含:程式碼,用以提供一處方及元件控制模組(RACCM),該處方及元件控制模組係為一伺服器;其中,該處方及元件控制模組包括:複數個智慧型代理器,該等複數個智慧型代理器中之各智慧型代理器用以與複數個元件中之各元件互動,及一協調型代理器,該協調型代理器用以從該等複數個智慧型代理器接收已處理資料。
12.如申請專利範圍第11項之包含一程式儲存媒體之製品,其中該處方及元件控制模組包括一數個供應型代理器之集合,該數個供應型代理器之集合包括執行處方管理用之程式碼,該處方管理包括用來將一處方之至少一部分分配給該等複數個智慧型代理器與該協調型代理器其中之至少一者的程式碼。
13.如申請專利範圍第12項之包含一程式儲存媒體之製品,其中該等複數個智慧型代理器中之該各智慧型代理器包括用來為該等複數個元件中之該各元件界定數個設定需求的智慧,該等設定需求包括用來將一資料檔案傳送至該等複數個智慧型代理器中之該各智慧型代理器的數個準則,該等準則係基於儲存在該等複數個智慧型代理器中之該各智慧型代理器本身之該處方的該部分。
14.如申請專利範圍第13項之包含一程式儲存媒體之製品,其中該等複數個智慧型代理器中之該各智慧型代理器包括一快取記憶體,該快取記憶體包括用來儲存至少最近期之資料檔案以施行資料鎖存的程式碼。
15.如申請專利範圍第14項之包含一程式儲存媒體之製品,其中該等複數個智慧型代理器中之該各智慧型代理器包括用來對該資料檔案執行資料分析以產生一特徵資料的程式碼,該特徵資料係針對該資料檔案之總結資料。
16.如申請專利範圍第15項之包含一程式儲存媒體之製品,其中該協調型代理器包括用來從該等複數個智慧型代理器中之各智慧型代理器接收一特徵資料之程式碼,該特徵資料係針對該資料檔案之總結資料。
17.如申請專利範圍第16項之包含一程式儲存媒體之製品,其中該協調型代理器包括用來執行資料分析以產生一複合特徵的智慧,該協調型代理器包括用來採用該特徵資料以提供指令給該等複數個元件的程式碼。
18.如申請專利範圍第11項之包含一程式儲存媒體之製品,其中該處方及元件控制模組包括用以執行自我發現以辨識對該電漿處理系統所為之變更的智慧,該自我發現包括用以辨識該等複數個元件中之一元件何時連接到該電漿處理系統的程式碼。
19.一種電腦執行方法,用以在一電漿處理系統中執行資料管理,該電腦執行方法包含:提供一處方及元件控制模組(RACCM),該處方及元件控制模組係一伺服器,其中該處方及元件控制模組包括:複數個智慧型代理器,該等複數個智慧型代理器中之各智慧型代理器用以與複數個元件中之各元件互動,一協調型代理器,該協調型代理器用以從該等複數個智慧型代理器接收已處理資料,及一數個供應型代理器之集合,該數個供應型代理器之集合用以執行處方管理,該處方管理包括將一處方之至少一部分分配給該等複數個智慧型代理器與該協調型代理器其中之至少一者。
20.如申請專利範圍第19項之電腦執行方法,其中該等複數個智慧型代理器中之該各智慧型代理器包括用來為該等複數個元件中之該各元件界定數個設定需求的智慧,該等設定需求包括用來將一資料檔案傳送給該等複數個智慧型代理器中之該各智慧型代理器的數個準則,該等準則係基於儲存在該等複數個智慧型代理器中之該各智慧型代理器本身之該處方的該部分。
21.如申請專利範圍第20項之電腦執行方法,其中該等複數個智慧型代理器中之該各智慧型代理器包括一快取記憶體,該快取記憶體包括用來儲存至少最近期之資料檔案以施行資料鎖存的程式碼。
22.如申請專利範圍第21項之電腦執行方法,其中該等複數個智慧型代理器中之該各智慧型代理器包括用來對該資料檔案執行資料分析以產生一特徵資料的程式碼,該特徵資料係針對該資料檔案之總結資料。
23.如申請專利範圍第22項之電腦執行方法,其中該協調型代理器包括用來從該等複數個智慧型代理器中之各智慧型代理器接收一特徵資料的程式碼,該特徵資料係針對該資料檔案之總結資料。
24.如申請專利範圍第23項之電腦執行方法,其中該協調型代理器包括用來執行資料分析以產生一複合特徵的智慧,該協調型代理器包括採用該特微資料以提供指令給該等複數個元件的程式碼。
25.如申請專利範圍第24項之電腦執行方法,其中該處方及元件控制模組包括用來執行自我發現以辨識對該電漿處理系統之變更的智慧,該自我發現包括用來辨識該等複數個元件中之一元件何時連接到該電漿處理系統的程式碼。
26.如申請專利範圍第19項之電


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專利資訊及圖示來源: 中華民國專利資訊檢索系統