基板收納容器
申請人· 信越聚合物股份有限公司 SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD. 日本 JP


專利信息

專利名稱 基板收納容器
公告號 I529110
公告日 2016/04/11
證書號 I529110
申請號 2011/04/19
國際專利分類號
公報卷期 43-11
發明人 山岸裕樹 YAMAGISHI, HIROKI; 鎌田俊行 KAMADA, TOSHIYUKI
申請人 信越聚合物股份有限公司 SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD. 日本 JP
代理人 林志剛
優先權 日本 2010-098452 20100422
參考文獻 TW251582; CN2110612U; CN2476519Y
審查人員 廖亦翩

專利摘要

本發明提供一種藉由抑制重心偏向蓋體側來防止往蓋體側的傾斜,能夠以穩定姿勢搬運等的基板收納容器。 其具備可整齊收納有複數片半導體晶圓的容器本體(1),和可裝拆自如開閉該容器本體(1)開口之正面的蓋體,在容器本體(1)之頂板(5)的大致中央部裝設有搬運用之吊掛凸緣的基板收納容器,於容器本體(1)的背面壁(7)或側壁(10)後部等的後部設有較重的重心位置調整手段(40),利用該重心位置調整手段(40)來管制基板收納容器往蓋體側的傾斜。由於是將重心位置調整手段(40)位於容器本體(1)的後部藉此發揮配重的功能,因此就能夠將收納有半導體晶圓之基板收納容器的重心位置抑制在半導體晶圓之中心位置±35mm以內的容許範圍。


專利範圍

1.一種基板收納容器,具備:能夠收納複數片基板的前開口盒之容器本體;及可開閉該容器本體開口之正面的蓋體,此外在容器本體的頂板具備有搬運用之被吊持部並且在蓋體安裝有基板周緣保持用之護圈的同時設有上鎖用的上鎖機構,其特徵為:於容器本體的後部設有重心位置調整手段,利用該重心位置調整手段來管制基板收納容器往蓋體側的傾斜,重心位置調整手段是安裝在容器本體背面壁,填充有能夠移動之緩衝材的中空囊管。 2.如申請專利範圍第1項所記載的基板收納容器,其中,在容器本體的背面壁兩側部分別形成有凹部,在凹部的內面形成有干涉肋,將囊管形成為中空的大致柱形能夠分別嵌合在容器本體的複數凹部,在囊管的外圍面形成有嵌合於凹部之干涉肋的干涉溝槽。 3.一種基板收納容器,具備:能夠收納複數片基板的前開口盒之容器本體;及可開閉該容器本體開口之正面的蓋體,此外在容器本體的頂板具備有搬運用之被吊持部並且在蓋體安裝有基板周緣保持用之護圈的同時設有上鎖用的上鎖機構,其特徵為:於容器本體的後部設有重心位置調整手段,利用該重心位置調整手段來管制基板收納容器往蓋體側的傾斜,重心位置調整手段是形成在容器本體側壁後部的加強肋。 4.一種基板收納容器,具備:能夠收納複數片基板的前開口盒之容器本體;及可開閉該容器本體開口之正面的蓋體,此外在容器本體的頂板具備有搬運用之被吊持部並且在蓋體安裝有基板周緣保持用之護圈的同時設有上鎖用的上鎖機構,其特徵為:於容器本體的後部設有重心位置調整手段,利用該重心位置調整手段來管制基板收納容器往蓋體側的傾斜,重心位置調整手段是安裝在容器本體背面壁側下部的錘體。 5.一種基板收納容器,具備:能夠收納複數片基板的前開口盒之容器本體;及可開閉該容器本體開口之正面的蓋體,此外在容器本體的頂板具備有搬運用之被吊持部並且在蓋體安裝有基板周緣保持用之護圈的同時設有上鎖用的上鎖機構,其特徵為:於容器本體的後部設有重心位置調整手段,利用該重心位置調整手段來管制基板收納容器往蓋體側的傾斜,將重心位置調整手段做為安裝在容器本體背面壁的複數支撐塊,利用該複數支撐塊,於容器本體配置成正面朝上時,防止容器本體的傾斜。 6.一種基板收納容器,具備:能夠收納複數片基板的前開口盒之容器本體;及可開閉該容器本體開口之正面的蓋體,此外在容器本體的頂板具備有搬運用之被吊持部並且在蓋體安裝有基板周緣保持用之護圈的同時設有上鎖用的上鎖機構


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專利資訊及圖示來源: 中華民國專利資訊檢索系統