基板之端面研磨裝置 END SURFACE GRINDING TOOL FOR SUBSTRATE
申請人· 中村留精密工業股份有限公司 NAKAMURA-TOME PRECISION INDUSTRY CO., LTD. 日本 JP


專利信息

專利名稱 基板之端面研磨裝置
公告號 I529032
公告日 2016/04/11
證書號 I529032
申請號 2009/12/16
國際專利分類號
公報卷期 43-11
發明人 小幡智昭 OBATA, TOMOAKI; 大桑幸一 OKUWA, KOICHI
申請人 中村留精密工業股份有限公司 NAKAMURA-TOME PRECISION INDUSTRY CO., LTD. 日本 JP
代理人 賴經臣; 宿希成
優先權
參考文獻 TW418744; TW527327; TW200618936A; TW200817136A; JP2000-42916A
審查人員 劉添雷

專利摘要

本發明提供一種對玻璃基板等脆性基板的切斷端面進行研磨加工的研磨裝置。本發明的基板之端面研磨裝置,包括有:用以對基板的端面進行研磨加工的周緣部由彈性材料製成之研磨輪;上述研磨輪的旋轉驅動手段;及傳送控制手段。上述旋轉驅動手段,具有用以檢測基板與端面接觸時流過的負載電流的負載電流檢測手段、及該負載電流值的適當判斷手段。上述傳送控制手段,具有相對於基板端面的切入方向之傳送控制手段、及推進方向之傳送控制手段,並且基於上述負載電流值的適當判斷手段,控制上述研磨輪切入方向的傳送動作和推進方向的傳送動作。


專利範圍

1.一種基板之端面研磨裝置,包括有:研磨輪,其用以對基板的端面進行研磨加工的周緣部為由彈性材料所構成;上述研磨輪的旋轉驅動手段;及傳送控制手段;上述旋轉驅動手段係具有用以檢測研磨輪之周緣部端面與基板接觸時流通之負載電流的負載電流檢測手段、及該負載電流值的適當判斷手段;上述傳送控制手段係具有相對於基板端面的切入方向之傳送控制手段、及推進方向之傳送控制手段,並且根據上述負載電流值的適當判斷手段而檢測上述研磨輪之周緣部滑接於基板之端面的研磨加工狀態,控制上述研磨輪切入方向的傳送動作與推進方向的傳送動作,當上述負載電流值的適當判斷手段判斷為於上述研磨輪之周緣部沿著基板之端面產生之磨耗槽變深而基板端面的研磨加工時之負載電流值超過規定值的情況下,接續的基板端面加工係上述推進方向的傳送控制手段僅以基板之厚度以上之規定的間距移動上述研磨輪,並開始研磨加工。


類似專利

公告號 專利名稱 申請人
201338915 玻璃基板之端面研磨裝置、玻璃基板之端面研磨方法、及玻璃基板之製造方法 旭硝子股份有限公司 ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED 日本 JP
201121709 基板之端面研磨裝置 中村留精密工業股份有限公司 NAKAMURA-TOME PRECISION INDUSTRY CO., LTD. 日本 JP
I473684 玻璃基板的端面研磨裝置及其端面研磨方法 日本電氣硝子股份有限公司 NIPPON ELECTRIC GLASS CO., LTD. 日本 JP
I436854 基板之平面研磨裝置 岡本工作機械製作所股份有限公司 OKAMOTO MACHINE TOOL WORKS, LTD. 日本 JP
I424901 玻璃板之端面研磨裝置 旭硝子股份有限公司 ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED 日本 JP
I329551 方形基板之兩面研磨裝置及兩面研磨方法 岡本工作機械製作所股份有限公司 OKAMOTO MACHINE TOOL WORKS, LTD. 日本 JP
200934615 基板之平面研磨裝置 岡本工作機械製作所股份有限公司 OKAMOTO MACHINE TOOL WORKS, LTD. 日本
200848210 玻璃板之端面研磨裝置 旭硝子股份有限公司 ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED 日本
200817134 玻璃基板的端面研磨裝置及其端面研磨方法 日本電氣硝子股份有限公司 NIPPON ELECTRIC GLASS CO., LTD. 日本
200718509 方形基板之兩面研磨裝置及兩面研磨方法 岡本工作機械製作所股份有限公司 OKAMOTO MACHINE TOOL WORKS, LTD. 日本
201330981 玻璃基板之端面研磨用砥石之修整方法及使用該修整方法之玻璃基板的製造方法 旭硝子股份有限公司 ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED 日本 JP
201217099 板狀物之製造裝置及製造方法以及板狀物之端面研磨裝置及端面研磨方法 旭硝子股份有限公司 ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED 日本 JP
I358341 玻璃基板的定位裝置、定位方法、端面研磨裝置與端面研磨方法 日本電氣硝子股份有限公司 NIPPON ELECTRIC GLASS CO., LTD. 日本 JP
200630184 玻璃基板的定位裝置、定位方法、端面研磨裝置與端面研磨方法 日本電氣硝子股份有限公司 NIPPON ELECTRIC GLASS CO., LTD. 日本
I288050 用於光纖套圈端面研磨裝置之固定器 精工技研股份有限公司 SEIKOH GIKEN CO., LTD. 日本
415880 端面研磨裝置之凹口研磨裝置的凹口研磨方法 思必得發沐.艾沛克股份有限公司 日本
200626298 用於光纖套圈端面研磨裝置之固定器 精工技研股份有限公司 SEIKOH GIKEN CO., LTD. 日本
I514450 半導體基板之表面處理裝置及方法 東芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 日本 JP
I503204 玻璃板之連續研磨裝置及玻璃板之連續研磨方法 旭硝子股份有限公司 ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED 日本 JP

專利資訊及圖示來源: 中華民國專利資訊檢索系統