用於在其加工過程中傳送太陽能晶圓或太陽電池的裝置 APPARATUS FOR TRANSFERRING A SOLAR WAFER OR SOLAR CELL DURING ITS FABRICATION
申請人· 先進科技新加坡有限公司 ASM TECHNOLOGY SINGAPORE PTE LTD 新加坡 SG


專利信息

專利名稱 用於在其加工過程中傳送太陽能晶圓或太陽電池的裝置
公告號 I529113
公告日 2016/04/11
證書號 I529113
申請號 2013/02/01
國際專利分類號
公報卷期 43-11
發明人 陳聯福 TAN, LIAN HOK; 屠文革 TU, WEN GE
申請人 先進科技新加坡有限公司 ASM TECHNOLOGY SINGAPORE PTE LTD 新加坡 SG
代理人 邱昱宇
優先權 美國 13/397,820 20120216
參考文獻 US3218069
審查人員 陳國衍

專利摘要

本發明公開了一種用於傳送太陽能晶圓或電池的裝置,該裝置包含有:i)旋轉馬達;ii)夾具,用於通過夾持該太陽能晶圓或電池;以及旋轉臂,其連接在旋轉馬達和夾具之間,該旋轉臂被旋轉馬達在第一旋轉方向上驅動一傳送角度,以在不同的位置之間傳送該太陽能晶圓或電池;尤其是該裝置還包含有角度補償設備,其被配置來驅動該夾具在第二旋轉方向上旋轉通過與旋轉臂相同的傳送角度,該第二旋轉方向和第一旋轉方向相反,以在旋轉臂的旋轉期間確保太陽能晶圓或電池的角度方位保持不變。


專利範圍

1.一種設置以傳送太陽能晶圓或太陽能電池的裝置,該裝置包含有:旋轉馬達;夾具,其被配置來夾持該太陽能晶圓或電池;以及旋轉臂,具有直接附接至旋轉馬達的第一端以及直接附接至夾具的第二端,該旋轉臂被旋轉馬達在第一旋轉方向上驅動通過一傳送角度,以在不同的位置之間傳送該太陽能晶圓或太陽能電池,且該旋轉臂被配置用來藉由一獨立軸以旋轉該夾具;以及角度補償設備,其被配置來驅動該夾具在第二旋轉方向上旋轉通過與旋轉臂相同的傳送角度,該第二旋轉方向和第一旋轉方向相反,以致於在旋轉臂的旋轉期間太陽能晶圓或太陽能電池的角度方位保持不變,其中,角度補償設備包含有:該旋轉馬達上的馬達轉軸;夾具皮帶輪,其附接至旋轉臂的第二端以及夾具上;環形皮帶,其可旋轉地連接在該馬達轉軸和夾具皮帶輪上,其中環形皮帶相對於受旋轉臂驅動的固定式馬達轉軸為可動的,但為連動於夾具皮帶輪,以使旋轉臂以第一旋轉方向受該旋轉馬達驅動,以圍繞該馬達轉軸在第二旋轉方向上沿著連續的路徑驅動該環形皮帶,藉此在第二旋轉方向上驅動夾具,以在太陽能晶圓或電池被夾具移動及該旋轉臂藉由該獨立軸旋轉時確保太陽能晶圓或電池的角度方位得以保持。 2.如申請專利範圍第1項所述的裝置,其中,角度補償設備具有的角度補償精度在0.1至1度之間.。 3.如申請專利範圍第1項所述的裝置,其中,該馬達轉軸容置在旋轉馬達中。 4.如申請專利範圍第3項所述的裝置,其中,該馬達轉軸定位在旋轉馬達的中央區域內部。 5.如申請專利範圍第1項所述的裝置,其中,該夾具皮帶輪通過夾具轉軸連接至夾具上。 6.如申請專利範圍第1項所述的裝置,其中,該環形皮帶為同步皮帶。 7.如申請專利範圍第1項所述的裝置,其中,該角度補償設備的該馬達轉軸為旋轉馬達的定子。 8.如申請專利範圍第1項所述的裝置,其中該夾具係為一白努力效應夾具。


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專利資訊及圖示來源: 中華民國專利資訊檢索系統