佈線圖案之形成方法、佈線圖案及電子機器 WIRING PATTERN FORMATION METHOD, WIRING PATTERN, AND ELECTRONIC DEVICE
申請人· 精工愛普生股份有限公司 SEIKO EPSON CORPORATION 日本


專利信息

專利名稱 佈線圖案之形成方法、佈線圖案及電子機器
公告號 200618700
公告日
證書號
申請號 2005/09/20
國際專利分類號
公報卷期 04-11
發明人 新館剛 SHINTATE, TSUYOSHI;櫻田和昭 SAKURADA, KAZUAKI;上原昇 UEHARA, NOBORU
申請人 精工愛普生股份有限公司 SEIKO EPSON CORPORATION 日本
代理人 陳長文
優先權 日本 2004-282219 20040928 日本 2004-282223 20040928 日本 2004-317084 20041029 日本 2005-190101 20050629
參考文獻
審查人員

專利摘要

本發明提供可一面將導通柱形成相當高度,一面實現多層化及微細化之佈線圖案之形成方法。本發明為一種佈線圖案之形成方法,其特徵在於:該佈線圖案係層疊配置之複數電性佈線32、36,藉由導通柱34互相導通連接而成;該形成方法具有以下步驟:噴出含有電性佈線32之形成材料之第一液滴,而形成電性佈線32之步驟;及噴出含有導通柱34之形成材料之第二液滴,而形成導通柱34之步驟;第二液滴之體積比前述第一液滴之體積大。


專利範圍

1.一種佈線圖案之形成方法,該佈線圖案係層疊配置之複數電性佈線,藉由導通柱互相導通連接而成;其特徵在於該形成方法具有以下步驟:噴出含有前述電性佈線之形成材料之第一液滴,而形成前述電性佈線之步驟;及噴出含有前述導通柱之形成材料之第二液滴,而形成前述導通柱之步驟;前述第二液滴之體積比前述第一液滴之體積大。 2.如請求項1之佈線圖案之形成方法,其中相較於用以噴出前述第一液滴而輸入於液滴噴出裝置之第一電性信號,用以噴出前述第二液滴而輸入於液滴噴出裝置之第二電性信號係液滴噴出時之電性信號之變動量較大。 3.如請求項1之佈線圖案之形成方法,其中相較於用以噴出前述第一液滴而輸入於液滴噴出裝置之第一電性信號,用以噴出前述第二液滴而輸入於液滴噴出裝置之第二電性信號係液滴噴出時之電性信號之變動率之絕對值較大。 4.如請求項1之佈線圖案之形成方法,其中用以噴出前述第二液滴而輸入於液滴噴出裝置之第二電性信號係於液滴噴出時,具有電性信號之變動休止部。 5.一種佈線圖案之形成方法,該佈線圖案係層疊配置之複數電性佈線,藉由導通柱互相導通連接而成;其特徵在於該形成方法具有以下步驟:噴出含有前述電性佈線之構成材料之第一液滴,而描畫形成液狀線之步驟;使前述液狀線之表面暫時乾燥之步驟;噴出含有前述導通柱之構成材料之第二液滴,而於前述液狀線上描畫形成液狀柱之步驟;及加熱前述液狀線及前述液狀柱,而形成前述電性佈線及前述導通柱之步驟。 6.如請求項5之佈線圖案之形成方法,其中於形成前述液狀柱之步驟中,重複進行前述第二液滴之噴出及暫時乾燥,而層疊形成複數液狀子柱;於加熱前述液狀柱之步驟中,加熱層疊形成之複數液狀子柱,形成前述導通柱。 7.如請求項6之佈線圖案之形成方法,其中前述暫時乾燥係藉由噴射氣體而進行。 8.如請求項5或6之佈線圖案之形成方法,其中前述暫時乾燥係藉由照射紅外線而進行。 9.一種佈線圖案,其特徵在於使用請求項1至8中任一項之佈線圖案之形成方法而製造。 10.一種電子機器,其特徵在於具備請求項9之佈線圖案。


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專利資訊及圖示來源: 中華民國專利資訊檢索系統