氣體分析儀



  • 使用光學發光光譜儀/殘餘氣體分析儀配合離子流的劑量控制方法

    公告號:200845146 - 應用材料股份有限公司 APPLIED MATERIALS, INC. 美國

    1.一種處理一基板的方法,包括:將該基板置於一電漿反應器中,該電漿反應器經配置以執行一電漿處理;藉由提供一射頻偏壓給該電漿反應器以在該電漿反應器中產生一電漿,好開始該電漿處理;利用一第一感測器來獲得該電漿之至少一屬性的一數值,該第一感測器經配置以監控該電漿反應器中產生之一電漿的至少一屬性;利用一第二

  • 使用殘留氣體分析儀之真空室測量方法

    公告號:201428872 - 英福康公司 INFICON, INC. 美國 US

    1.一種測量真空工具的客真空室中的氛圍的方法,該方法包含:使用殘餘氣體分析儀(RGA)來測量在該真空工具的主真空室中的氛圍的第一組成,其中在該第一組成的測量期間,該主真空室和該客真空室不相耦合;將該主真空室耦合到該客真空室,使得在該主真空室中的氛圍與該客真空室中的氛圍相混合,以在該主真空室中形成混合

  • 高回收率氣體分析儀採樣裝置

    公告號:201531684 - 奇鼎科技股份有限公司 新竹縣湖口鄉安宅四街59號 TW

    1.一種高回收率氣體分析儀採樣裝置,其包含:一分析裝置,該分析裝置具有一進樣口與一出樣口,該進樣口連接有一進樣管路;一第一幫浦,該第一幫浦與分析裝置其出樣口之間透過一抽氣管路相連接,用以提供空氣樣本進出該分析裝置之外在動力來源,又該第一幫浦連接有一排氣管路,用以將空氣樣本排出;一進樣分流迴路,該進樣

  • 二元氣體分析儀器及分析方法

    公告號:119787 - 通用電機股份有限公司 美國

  • 附有可調整之噴射器的等離子吹管及使用此種吹管之氣體分析儀

    公告號:412636 - 液態空氣 喬治斯 克勞帝方法研究開發股份有限公司 法國

    1.一種等離子吹管,其用以激發某種氣體以分析該氣體,包括一個噴射器(12),由一個用以 連接提供待分析氣體的供應源的主管,和一個外部的圓筒形套管(14,42)構成,該套管的壁 是雙層的(28/30,42A/42B),與噴射器(12)同軸,並在其連延的內外壁之間界定了一個用以 提供一種等離子氣體之圓筒

  • 具有卡匣式光路系統之多化合物氣體分析儀

    公告號:459133 - 衆智光電科技股份有限公司 新竹科學工業園區工業東九路二十三號二樓

    1.一種具有卡匣式光路系統之多化合物氣體分析儀含有至少一個卡匣(Cassette),每一該卡匣包括: 一光源系統,包含一紅外線光源和一用來提供輸入紅外線(infrared ray)平行光束之聚光拋物面鏡(reflector); 一光路系統(light path system),包含一卡匣外殼、一光學

  • 用於半導體加工流出物監測的即時紫外可見光鹵素氣體分析儀

    公告號:561543 - 氣體產品及化學品股份公司 美國

    1.一種分析處理流出氣流中同核鹵素氣體的方法,包括如下步驟: 對含有所述鹵素氣體的所述氣流進行抽樣; 將所述氣流樣品引入具有帶窗戶的第一端和第二端的樣品池,該窗戶能傳輸紫外和可見光通過所述樣品; 所述光纖經過所述樣品池,並檢測所述池內鹵素氣體的光吸收; 分析在所選擇波長處的所選擇的吸收光譜;及 進行

  • 氣體分析儀

    公告號:M376763 - 貝爾特科技有限公司 BELLTONE TECHNOLOGY CO., LTD. 新竹縣竹東鎮中興路2段320號 TW

    1.一種氣體分析儀,包含:一電路,具氣體量測功能,以產生氣體成份數據;一顯示螢幕,電連接該電路,顯示該氣體成份數據;一功能鍵,電連接該電路,用於控制氣體量測之動作;以及一資料傳輸介面,電連接該電路,用於將該氣體成份數據傳輸至一儲存裝置。 2.根據請求項1所述之氣體分析儀,其中該資料傳輸介面係USB介

  • 微小化即時氣體分析儀

    公告號:M422070 - 典試科技股份有限公司 DATA TEST SCIENTIFIC CO., LTD. 臺北市士林區天母西路3號6樓之23 TW

    1.一種微小化氣體即時分析儀,其結構包括:一微前濃縮採樣器;一微氣體層析晶片;一光游離偵測器;一空氣幫浦;一微型電磁閥,皆置於微小化氣體即時分析儀內部;並整合其元件及配合分析流道設計,產出具氣體分析偵測功能,其微小化氣體即時分析儀尺寸為20×10×6公分;進行氣體採樣時,樣品氣體由氣體注入口進入經過

  • 高回收率氣體分析儀採樣裝置

    公告號:M480069 - 奇鼎科技股份有限公司 新竹縣湖口鄉安宅四街59號 TW

    1.一種高回收率氣體分析儀採樣裝置,其包含:一分析裝置,該分析裝置具有一進樣口與一出樣口,該進樣口連接有一進樣管路;一第一幫浦,該第一幫浦與分析裝置其出樣口之間透過一抽氣管路相連接,用以提供空氣樣本進出該分析裝置之外在動力來源,又該第一幫浦連接有一排氣管路,用以將空氣樣本排出;一進樣分流迴路,該進樣

  • 使用光學發光光譜儀/殘餘氣體分析儀配合離子流的劑量控制方法

    公告號:I467637 - 應用材料股份有限公司 APPLIED MATERIALS, INC. 美國 US

    1.一種處理一基板的方法,包括:將該基板置於一電漿反應器中,該電漿反應器經配置以執行一電漿處理;藉由自一耦接至該電漿反應器之射頻偏壓功率提供一射頻偏壓,以在該電漿反應器中產生一電漿好開始該電漿處理;利用一第一感測器來獲得該電漿之至少一屬性的一數值,該第一感測器經配置以監控該電漿反應器中產生之該電漿的

  • 離子分離光譜儀裝置、電離程序與氣體分析系統

    公告號:201516406 - 創控生技股份有限公司 TRICORNTECH CORPORATION 美國 US

    1.一種裝置,其包括:具有一入口及一出口的一離子注入器;置於該離子注入器之該入口及該出口之間的一微電暈電離器,該微電暈電離器包含:一平面式電極;及一尖端刀緣(sharp knife-edge)電極,其與該平面式電極間隔開且以該尖端刀緣指向該平面式電極而放置;具有一第一末端及一第二末端的一漂移及分離通

  • 離子分離光譜儀裝置、電離程序與氣體分析系統

    公告號:I475223 - 創控生技股份有限公司 TRICORNTECH CORPORATION 美國 US

    1.一種離子分離光譜儀裝置,其包括:一離子注入器,其具有一入口及一出口;一微電暈電離器,其置於該離子注入器之該入口及該出口之間;一漂移及分離通道,其具有一第一末端及一第二末端,該第一末端耦接至該離子注入器之出口,該漂移及分離通道包含:一第一通道壁,其上具有一第一組分離電極,其包括具有電耦接於一或多個

  • 同位素氣體分析中之氣體噴射量測定方法,暨同位素氣體分析及測定方法和裝置

    公告號:200523537 - 大塚製藥股份有限公司 OTSUKA PHARMACEUTICAL CO., LTD. 日本

    1.一種同位素氣體分析中之氣體噴射量測定方法,在該同位素氣體分析中,將包含二氧化碳 13 CO 2 及二氧化碳 12 CO 2 作為氣體成分之待測量氣體或人類之呼氣引入至測量皿中,及測量具有適合於各別氣體成分之測量之波長之透射光之強度,然後進行數據處理以測量二氧化碳 13 CO 2 之濃度,該氣體噴

  • 使用洞後環光譜法的微量氣體分析裝置與方法

    公告號:200526942 - 泰格視覺股份有限公司 TIGER OPTICS, L.L.C. 美國

    1.一種分析氣體中所含雜質的方法,包括以下步驟:將含有雜質的第一氣體注入第一腔的至少一部分;將不含雜質的第二氣體注入第二腔的至少一部分;由光源發射光束;將發射自上述光源的光束分為第一光束和第二光束;使上述第一光束入射上述第一腔;使上述第二光束入射上述第二腔;測量上述第一腔內之上述第一光束的衰減率;測