裝載及卸載基板用之基板處理設備和方法 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR LOADING AND UNLOADING SUBSTRATES
申請人· 細美事有限公司 SEMES CO., LTD. 南韓 KR


專利信息

專利名稱 裝載及卸載基板用之基板處理設備和方法
公告號 201231371
公告日
證書號
申請號 2011/06/17
國際專利分類號
公報卷期 10-15
發明人 劉載賢 YOU, JAEHYUN; 具教旭 KOO, KYO WOOG
申請人 細美事有限公司 SEMES CO., LTD. 南韓 KR
代理人 張耀暉; 莊志強
優先權 南韓 KR-10-2010-0057707 20100617
參考文獻
審查人員

專利摘要

本發明關於一種用於載入或卸載基板的基板處理裝置,以在大量處理如太陽能電池基板的基板處理設備中,將基板裝載在託盤上。本發明的基板處理裝置包括:託盤搬運部,託盤位於其上,並用於搬運所述託盤;基板載入傳送部,需要供給至託盤的基板在該基板載入傳送部被排成一列;基板卸載傳送部 , 需要從託盤搬出的基板在該基板卸載傳送部被排成一列;第一基板搬運機械手,拾取在基板載入傳送部待機中的基板,搬運到位於託盤搬運部的託盤上;以及第二基板搬運機械手,從位於託盤搬運部的託盤上拾取基板,並搬運到基板卸載傳送部。


專利範圍

1.一種基板處理裝置,其係用於在託盤上載入或卸載多個基板,其特徵在於包括:託盤搬運部,託盤位於其上,用於搬運所述託盤;基板載入傳送部,需要供給至所述託盤的基板在該基板載入傳送部被排成一列;基板卸載傳送部,需要從所述託盤搬出的基板在該基板卸載傳送部被排成一列;第一基板搬運機械手,拾取在所述基板載入傳送部待機中的基板,並搬運到位於所述託盤搬運部上的所述託盤;以及第二基板搬運機械手,從位於所述託盤搬運部的所述託盤上拾取基板,並搬運到所述基板卸載傳送部。 2.如申請專利範圍第1項之基板處理裝置,其中所述第一基板搬運機械手包括:一對移送導軌,設置在所述託盤搬運部的上部的兩側;移動框架,被設置成能夠沿著所述移送導軌移動;以及吸盤單元,設置在所述移動框架上,並用於固持基板。 3.如申請專利範圍第1項之基板處理裝置,其中所述第二基板搬運機械手包括:一對移送導軌,設置在所述託盤搬運部的上部的兩側;移動框架,被設置成能夠沿著所述移送導軌移動;以及吸盤單元,設置在所述移動框架上,並用於固持基板。 4.如申請專利範圍第2或3項之基板處理裝置,其中所述吸盤單元包括:支撐框架,設置有多個伯努利吸盤,該多個伯努利吸盤以非接觸狀態固持基板的上面;以及升降驅動部,使所述支撐框架升降。 5.如申請專利範圍第1項之基板處理裝置,其中所述託盤搬運部包括:上層搬運輥部,與託盤的搬運方向平行地設置在兩側;下層搬運輥部,位於所述上層搬運輥部的下方,並與託盤的搬運方向平行地設置在兩側;託盤升降部,將放置在所述下層搬運輥部上的託盤提升到上層;以及開放驅動部,移動所述上層搬運輥部,從而提供足夠空間使託盤通過所述託盤升降部進行上升移動。 6.如申請專利範圍第1項之基板處理裝置,其中還包括:第一儲運盒升降機,用於放置裝載有基板的儲運盒,並使儲運盒升降;以及基板搬出部,從放置在所述第一儲運盒升降機上的儲運盒中取出基板,並提供給所述基板載入傳送部。 7.如申請專利範圍第6項之基板處理裝置,其中還包括二層結構的儲運盒載入傳送部,所述儲運盒載入傳送部包括:上層傳送帶,將裝載有基板的儲運盒提供給所述第一儲運盒升降機;及下層傳送帶,從所述第一儲運盒升降機接收空的儲運盒。 8.如申請專利範圍第6項之基板處理裝置,其中所述基板搬出部包括:底板,具有用於放置基板的基板支撐柱;末端執行器,從放置在所述第一儲運盒升降機上的儲運盒中取出基板;以


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專利資訊及圖示來源: 中華民國專利資訊檢索系統