旋轉機之壽命預預測方法及具有旋轉機之製造裝置
申請人· 東芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 日本


專利信息

專利名稱 旋轉機之壽命預預測方法及具有旋轉機之製造裝置
公告號 200407504
公告日
證書號
申請號 2003/09/24
國際專利分類號
公報卷期 02-10
發明人 佐俁秀一;牛久幸廣;中尾隆;古田武夫
申請人 東芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 日本
代理人 陳長文
優先權 日本 2002-287944 20020930
參考文獻
審查人員

專利摘要

旋轉機之壽命預預測方法及具有旋轉機之製造裝置簡圖

本發明提供一種高感度且穩定之高精度之旋轉機之壽命預測方法。本發明之旋轉機之壽命預測方法包含:由使用於監視器用製造工序之監視器用旋轉機之特徵量之監視器時間序列資料,判定監視器用旋轉機即將停止前之異常狀態之開始時刻,用統計的方法解析監視器時間序列資料,以求出特徵量之異常狀態之開始時刻之值作為異常判斷之臨限值之步驟;在製造工序中測定診斷對象旋轉機之馬達電流之特徵量之時間序列資料之步驟;由製造工序中特徵量變動之時間序列資料,製成評估用診斷資料之步驟;及判定評估用診斷資料超過臨限值之時刻作為診斷對象旋轉機之壽命之步驟。


專利範圍

1.一種旋轉機之壽命預測方法,其特徵在於包含:由使用於監視器用製造工序之監視器用旋轉機之特徵量之監視器時間序列資料,判定前述監視器用旋轉機即將停止前之異常狀態之開始時刻,用統計的方法解析前述監視器時間序列資料,以求出前述特徵量之前述異常狀態之開始時刻之值作為異常判斷之臨限值之步驟;在製造工序中測定診斷對象旋轉機之馬達電流之特徵量之時間序列資料之步驟;由前述製造工序中前述特徵量變動之前述時間序列資料,製成評估用診斷資料之步驟;及判定前述評估用診斷資料超過前述臨限值之時刻作為前述診斷對象旋轉機之壽命之步驟者。
2.如申請專利範圍第1項之旋轉機之壽命預測方法,其中前述臨限值係由馬哈拉諾比斯距離所決定。
3.如申請專利範圍第1項之旋轉機之壽命預測方法,其中前述馬達電流之特徵量包含前述製造工序中產生之電流峰值數。
4.如申請專利範圍第1項之旋轉機之壽命預測方法,其中前述評估用診斷資料係由在成為前述異常狀態前之正常狀態下超過前述臨限值而被誤診斷為異常之錯誤之危險率不同之多數前述特徵量所作成。
5.如申請專利範圍第1項之旋轉機之壽命預測方法,其中前述馬達電流之電源引起之變動係監視前述診斷對象旋轉機之馬達電壓及馬達電力中至少一方而分選。
6.一種製造裝置,其特徵在於具備:診斷對象旋轉機,其係執行製造工序者;測定單元,其係在前述製造工序中測定前述診斷對象旋轉機之馬達電壓之特徵量之時間序列資料者;及資料處理單元,其係由前述製造工序中前述特徵量變動之前述時間序列資料作成評估用診斷資料,判定前述評估用診斷資料超過由監視器用旋轉機之特徵量之監視器時間序列資料用統計的方法所求出之臨限值之時刻作為前述診斷對象旋轉機之壽命者。
7.如申請專利範圍第6項之製造裝置,其中前述測定單元具備測定前述診斷對象旋轉機之馬達電壓及馬達電力之電壓計及電力計中至少一方。
8.如申請專利範圍第6項之製造裝置,其中前述診斷對象旋轉機係半導體製造裝置用之乾式泵者。
9.如申請專利範圍第6項之製造裝置,其中前述資料處理單元設置於局部區域網路上之電腦。
10.如申請專利範圍第6項之製造裝置,其中前述資料處理單元設置於電腦合併生產系統上之資料處理系統。


類似專利

公告號 專利名稱 申請人
200415311 旋轉機之壽命預測系統、旋轉機之壽命預測方法及具有旋轉機之製造裝置 東芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 日本
I234610 旋轉機之壽命預測方法及具有旋轉機之製造裝置 東芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 日本
I239373 旋轉機之壽命預測系統、旋轉機之壽命預測方法及具有旋轉機之製造裝置 東芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 日本
183153 鍛造用覆膜潤滑處理方法及具有覆膜潤滑處理裝置之鍛造裝置 大同特殊鋼股份有限公司 日本 大同機械製作所股份有限公司 日本
200721268 氮化鋁半導體之製造方法及氮化鋁半導體製造裝置 日本輕金屬股份有限公司 NIPPON LIGHT METAL COMPANY, LTD. 日本
403815 摩擦減小船的氣泡產生,減小表皮摩擦的方法及具有表皮摩擦減小裝置之船 石川島播磨重工業股份有限公司 日本 加藤洋治 日本
473626 液晶顯示元件之製造方法及液晶顯示元件製造裝置 夏普股份有限公司 日本
498229 具有技術訣竅構造之資料庫構築方法及具有技術訣竅構造之資料庫構築系統 C A I 股份有限公司 日本
529073 半導體製造裝置之排熱利用系統及排熱利用方法、及使用於半導體製造裝置之排熱利用之熱交換器 東京威力科創股份有限公司 日本 大成建設股份有限公司 日本
187739 磁控管濺射塗層方法及具有旋轉磁性陰極之裝置 物質研究公司 美國
200630416 於聚醯亞胺樹脂形成無機薄膜之方法及具有經改良之表面之形成無機薄膜用聚醯亞胺樹脂之製造方法 三星皮帶股份有限公司 MITSUBOSHI BELTING LTD. 日本
200911889 用以自有機物與無機物之複合體回收無機物之保持元件、使用該元件之無機物回收方法、及具有該元件之無機物回收裝置 松下電器產業股份有限公司 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 日本
201100503 有機半導體元件遮光膜形成用油墨組成物、遮光膜形成方法及具有遮光膜之有機電晶體元件 迪愛生股份有限公司 DIC CORPORATION 日本 JP
201419723 可定電流輸出的切換式電源轉換電路、其電源轉換方法及具有該電路之積體電路的製造方法 來頡科技股份有限公司 M3 TECHNOLOGY INC. 臺北市內湖區瑞光路188巷62號4樓 TW
201448076 浸潤液體補充裝置及補充方法與具有浸潤液體補充裝置之晶圓切割道檢測機 亞亞科技股份有限公司 YAYATECH CO., LTD. 新竹市南大路550巷19弄2號 TW
201506470 偏光膜、含有偏光膜的光學功能薄膜層合體、含有偏光膜的光學薄膜層合體之製造方法、及具有偏光膜之有機電致發光顯示裝置 日東電工股份有限公司 NITTO DENKO CORPORATION 日本 JP
221544 調整駐極體轉換器之操作特性的方法及具有增益調整的駐極體微音器的通訊裝置 北方電訊公司 加拿大
I292556 經由雜湊在電子裝置啓動期間執行所提供的碼來安全地啓動電子裝置的方法及具有相關機器指令之記憶媒體以及與其相關之電子裝置 微軟公司 MICROSOFT CORPORATION 美國
I358421 於聚醯亞胺樹脂形成無機薄膜之方法及具有經改良之表面之形成無機薄膜用聚醯亞胺樹脂之製造方法 三星皮帶股份有限公司 MITSUBOSHI BELTING LTD. 日本 JP

專利資訊及圖示來源: 中華民國專利資訊檢索系統