剝離裝置及剝離方法 DETACHING APPARATUS AND DETACHING METHOD
申請人· 斯克林集團公司 SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 日本 JP


專利信息

專利名稱 剝離裝置及剝離方法
公告號 I529066
公告日 2016/04/11
證書號 I529066
申請號 2013/12/12
國際專利分類號
公報卷期 43-11
發明人 上野美佳 UENO, MIYOSHI; 川越理史 KAWAGOE, MASAFUMI; 增市幹雄 MASUICHI, MIKIO; 上野博之 UENO, HIROYUKI
申請人 斯克林集團公司 SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 日本 JP
代理人 陳長文
優先權 日本 2013-063862 20130326
參考文獻 TW201307000A; CN1948004A; JP2003-72123A; JP2009-239071A
審查人員 林衍孝

專利摘要

本發明之剝離裝置係沿剝離進行方向即(+Y)方向,配置複數個吸附單元51~54。藉由最上游側之第1吸附單元51吸附保持基板SB之端部而提拉,並且一面使剝離輥340抵接至基板SB,一面向剝離進行方向移動,藉此控制剝離之進行。於剝離輥340通過第2至第4吸附單元52~54之正下方位置時,使各吸附單元52~54下降而捕捉提拉剝離後之基板,藉此使作為剝離之主體而發揮功能之吸附單元依次向下游側移行。


專利範圍

1.一種剝離裝置,其係剝離介隔薄膜或圖案而彼此密接之第1板狀體與第2板狀體者,其特徵在於包括:保持機構,其具有大於上述第1板狀體之形成有上述薄膜或圖案之有效區域之平面尺寸的保持面,使上述第1板狀體之面中之與密接於上述第2板狀體之面為相反側的面抵接於上述保持面而保持上述第1板狀體;第1剝離機構,其一面保持上述第2板狀體之一端部,一面向自上述保持機構離開之方向移動,從而自上述第1板狀體剝離上述第2板狀體之上述一端部;抵接機構,其於沿著上述第2板狀體,將自上述第2板狀體之上述一端部朝向與該一端部相反側之另一端部之方向定義為剝離進行方向時,形成為將與上述剝離進行方向正交之方向設為長度方向及軸方向之輥狀,一面抵接於上述第2板狀體,一面向上述剝離進行方向移動;及第2剝離機構,其具有局部地抵接於與密接於上述第1板狀體之面為相反側之上述第2板狀體之一面而保持上述第2板狀體的功能,且以可相對於上述保持機構而進行接近及離開移動之方式構成;且上述抵接機構係於鄰接於上述一端部之上述剝離進行方向下游側之抵接開始位置,開始抵接於上述第2板狀體而向上述剝離進行方向移動,上述第2剝離機構係一面抵接於上述抵接機構通過後之上述第2板狀體之上述一面而保持上述第2板狀體,一面向自上述保持機構離開之方向移動。 2.如請求項1之剝離裝置,其中沿著上述剝離進行方向而排列複數個上述第2剝離機構,該複數個第2剝離機構係彼此獨立地相對於上述保持機構進行接近及離開移動。 3.如請求項1或2之剝離裝置,其中上述第1剝離機構係於較上述第2板狀體中之形成有上述薄膜或圖案之有效區域更外側,保持上述第2板狀體。 4.如請求項1或2之剝離裝置,其中上述第1剝離機構及上述第2剝離機構係抵接於上述第2板狀體之上述一面而吸附保持上述第2板狀體。 5.如請求項4之剝離裝置,其中上述第2剝離機構中之抵接於上述第2板狀體之抵接部位係由可朝對於上述第2板狀體接近、離開之方向伸縮之彈性構件而形成。 6.如請求項4之剝離裝置,其中上述第1剝離機構及上述第2剝離機構之各者包含複數個吸附墊,該複數個吸附墊係排列於正交於上述剝離進行方向之方向而抵接於上述第2板狀體。 7.如請求項4之剝離裝置,其中於上述保持機構之上述保持面,設置賦予負壓而吸附上述第1板狀體之吸附孔或吸附槽。 8.一種剝離方法,其剝離介隔薄膜或圖案而彼此密接之第1板狀體與第2板狀體,該剝離


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專利資訊及圖示來源: 中華民國專利資訊檢索系統