晶片定位的檢測方法與裝置
申請人· 長裕欣業股份有限公司 臺北縣中和市連城路258號9樓


專利信息

專利名稱 晶片定位的檢測方法與裝置
公告號 200826215
公告日
證書號
申請號 2006/12/08
國際專利分類號
公報卷期 06-12
發明人 劉勝德;林岳漢
申請人 長裕欣業股份有限公司 臺北縣中和市連城路258號9樓
代理人 樊欣佩
優先權
參考文獻
審查人員

專利摘要

一種晶片定位的檢測方法與裝置,藉由一影像單元取得影像畫面,透過一運算單元比對晶片數量及中心位置,並進行補償後,以快速擷取每一個晶片正確的座標資料。


專利範圍

1.一種晶片定位的檢測方法與裝置,供以檢測位於一藍膜上每個晶片的座標資料,該檢測方法的步驟如下:第一步驟:進行取像,以一影像單元對應於一載有複數片晶片的該藍膜,並調整該影像單元的焦距,以使該影像單元可擷取位於該藍膜上的一視野範圍(Field Of View,FOV);第二步驟:取得該視野範圍內的該晶片數量及各該晶片的中心位置,經過一運算單元的運算,以記錄該晶片數量及中心位置;第三步驟:比對該晶片數量與一預設晶片數量之差異,及比對每一晶片位置與一預設晶片位置之差異;第四步驟:比對該每一晶片之中心位置與一預設晶片的中心位置之差距值;以及第五步驟:再利用上述各項取得後及分析後的數據,作為一抓取裝置作動時的高度補償。 2.一種晶片定位的檢測裝置,供以檢測位於一藍膜上每個晶片的座標資料,該裝置係包括:一移動平台,供固設該藍膜,並可帶動該晶片及該藍膜進行平面移動,以及升降移動;一影像單元,係組設於該移動平台的上方,透過該影像單元的一攝影鏡頭,可擷取該晶圓上一視野範圍(Field Of View,FOV)內的影像畫面;以及一運算單元,可供將該FOV的資料輸入該運算單元的一暫存器內,並與一資料庫內部事先定義的資料,藉由一中央處理器進行比對運算,供以計算出該FOV內部該每一個晶片的座標資料。 3.如申請專利範圍第2項所述之晶片定位的檢測裝置,其中,該移動平台一側係設有一供抓取該晶片的抓取裝置。 4.如申請專利範圍第3項所述之晶片定位的檢測裝置,其中,該抓取裝置係由一真空吸頭及一氣壓動力源所組成,可產生真空吸力以抓取該晶片。


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專利資訊及圖示來源: 中華民國專利資訊檢索系統