藉酸性溶液進行矽電極組件表面去污作用 SILICON ELECTRODE ASSEMBLY SURFACE DECONTAMINATION BY ACIDIC SOLUTION
申請人· 藍姆研究公司 LAM RESEARCH CORPORATION 美國


專利信息

專利名稱 藉酸性溶液進行矽電極組件表面去污作用
公告號 200636836
公告日
證書號
申請號 2005/12/23
國際專利分類號
公報卷期 04-20
發明人 石洪 SHIH, HONG;黃拓川 HUANG, TUOCHUAN;周春紅 ZHOU, CHUNHONG
申請人 藍姆研究公司 LAM RESEARCH CORPORATION 美國
代理人 陳長文
優先權 美國 11/019,726 20041223
參考文獻
審查人員

專利摘要

本發明係關於清洗電極組件之矽表面的方法,其係藉使用包含氫氟酸、硝酸、醋酸,及平衡去離子水之酸性溶液自該等矽表面有效地移除污染物且不會使該等矽表面褪色。


專利範圍

1.一種清洗包含經電漿暴露矽表面之舊電極組件的方法,其包括使用含氫氟酸、硝酸、醋酸,及平衡去離子水之酸性清洗溶液接觸該矽表面,且其中污染物係自該矽表面經移除;且進一步,其中該矽表面並未褪色。 2.如請求項1之方法,其中該酸性溶液蝕刻該矽表面。 3.如請求項2之方法,其中該氫氟酸係以可以擴散控制方法蝕刻該矽表面之含量存在。 4.如請求項1之方法,其中該氫氟酸及硝酸之存在量能有效自該矽表面移除污染物。 5.如請求項1之方法,其中該硝酸自該矽表面移除選自由鋁、鈣、鉻、銅、鐵、鉀、鋰、鎂、鉬、鈉、鎳、鈦、鋅,及彼等之組合所組成之群組的污染物。 6.如請求項1之方法,其中該硝酸之存在量能有效氧化選自由鋁、鈣、鉻、銅、鐵、鉀、鋰、鎂、鉬、鈉、鎳、鈦、鋅,及彼等之組合所組成之群組的污染物。 7.如請求項1之方法,其中該硝酸之存在量能有效與選自由鋁、鈣、鉻、銅、鐵、鉀、鋰、鎂、鉬、鈉、鎳、鈦、鋅,及彼等之組合所組成之群組的污染物形成離子。 8.如請求項1之方法,其中該硝酸之存在量並不會導致矽表面褪色。 9.如請求項1之方法,其中該硝酸將矽氧化以形成氧化矽。 10.如請求項9之方法,其中該氫氟酸可溶解該氧化矽。 11.如請求項1之方法,其中該醋酸之存在量能有效控制藉該硝酸進行之氧化作用。 12.如請求項1之方法,其中該醋酸之存在量能有效避免矽表面褪色。 13.如請求項1之方法,其中該醋酸可以與污染物形成錯離子。 14.如請求項1之方法,其中該接觸步驟包括使用該酸性溶液擦拭該矽表面。 15.如請求項1之方法,其中該電極組件為具有氣體出口管之噴淋頭電極。 16.如請求項1之方法,其中該矽表面為與石墨墊構件黏合之彈性體。 17.如請求項16之方法,其中該石墨墊構件包含安裝孔。 18.如請求項1之方法,其中該電極組件包含由外電極構件包圍之內電極。 19.如請求項18之方法,其中該外電極構件包含以環狀構形排列之矽段。 20.如請求項1之方法,其中該矽表面為單一結晶狀矽。 21.一種如請求項1之清洗溶液。 22.如請求項21之清洗溶液,其中該氫氟酸之存在量為0.25至1體積%。 23.如請求項21之清洗溶液,其中該硝酸之存在量為10至40體積%。 24.如請求項21之清洗溶液,其中該醋酸之存在量為10至20體積%。 25.一種電極組件,其餘經如請求項1之方法所清洗。 26.一種在電漿蝕刻室內蝕刻


類似專利

公告號 專利名稱 申請人
I386984 藉酸性溶液進行矽電極組件表面去污作用 藍姆研究公司 LAM RESEARCH CORPORATION 美國 US
I490311 使用含三價錳之酸性溶液進行塑膠蝕刻 麥克達米德尖端股份有限公司 MACDERMID ACUMEN, INC. 美國 US
201339281 使用含三價錳之酸性溶液進行塑膠蝕刻 麥克達米德尖端股份有限公司 MACDERMID ACUMEN, INC. 美國 US
I402382 用於矽電極組合表面污染移除之清潔方法 藍姆研究公司 LAM RESEARCH CORPORATION 美國 US
200641190 用於矽電極組合表面污染移除之清潔方法 藍姆研究公司 LAM RESEARCH CORPORATION 美國
326048 使用過氧二碳酸二烷酯溶液進行氯乙烯之含水懸浮聚合法以及製備過氧二碳酸二烷酯溶液之方法 首威公司 比利時
I379841 聚乙烯基銨化合物,其製法、含該化合物之酸性溶液,以及電解沈積銅沈積物之方法 德國艾托特克公司 ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH 德國 DE
I277393 微溶IIA族錯合物的酸性溶液 晨星診斷股份公司 MORNINGSTAR DIAGNOSTICS, INC. 美國
I262177 藉水性方法進行之結構性氧化鋯基底材料之射出成模 聯合標誌公司 ALLIEDSIGNAL INC. 美國
I241168 具有一微溶IIA族錯合物的酸性溶液的加成物 晨星診斷股份公司 MORNINGSTAR DIAGNOSTICS, INC. 美國
585936 過氧化氫酸性水溶液之安定劑,含彼之酸性金屬處理溶液及使用該酸性溶液處理金屬表面的方法 首威英特歐斯有限公司 SOLVAY INTEROX LIMITED 英國
358831 於高酸性溶液中除去金屬的方法或使用該方法於不菵鋼表面之電解拋光 玻利葛雷特控股公司 德國
343202 以原矽酸四乙酯進行靜電控制 美孚石油公司 美國
257797 對纖維素溶液進行紡絲的紡絲嘴 蘭仁股份有限公司 奧地利
122479 自含銅及鋅之酸性溶液中選擇性回收及分離鎳或鈷有價物之方法 雪維隆研究公司 美國
097731 以鹼性高錳酸殟溶液處理塑膠之組成物及方法 恩索龍公司 美國
058268 酸性溶液電解用之陰極 培爾梅烈克電極股份有限公司 日本國神奈川縣藤澤巿石川1159番地
047939 從酸性溶液中的鈾.稀土族.釷和釔之總回收方法 龍布朗工業公司 法國巴黎蒙塔年路22號
201446836 用於製備部分平衡之酸性溶液之方法 英威達技術有限公司 INVISTA TECHNOLOGIES S.A.R.L. 瑞士 LU

專利資訊及圖示來源: 中華民國專利資訊檢索系統