全氟化物的處理裝置
申請人· 昭和電工股份有限公司 SHOWA DENKO K. K. 日本 JP


專利信息

專利名稱 全氟化物的處理裝置
公告號 I528996
公告日 2016/04/11
證書號 I528996
申請號 2014/04/18
國際專利分類號
公報卷期 43-11
發明人 鳥巣純一 TORISU, JUNICHI; 早坂裕二 HAYASAKA, YUJI; 加藤健一 KATO, KENICHI
申請人 昭和電工股份有限公司 SHOWA DENKO K. K. 日本 JP
代理人 林志剛
優先權 日本 2013-089694 20130422
參考文獻 CN1462646A
審查人員 李嘉修

專利摘要

本發明的課題係在於提供能夠從分解氣體更確實地除去酸成分,並且能夠更圓滑地進行用來乾式除去酸成分的藥劑之更換的全氟化物的處理裝置等。用以解決課題之手段為,一種全氟化物的處理裝置,其特徵為具備有:加熱手段,該加熱手段為用來加熱含有全氟化物的氣體及水,並且藉由觸媒將全氟化物予以加水分解而產生分解氣體;熱交換手段,該熱交換手段係配置在加熱手段的前段及後段;及酸成分除去手段,該酸成分除去手段係將分解氣體中的酸成分予以乾式除去,酸成分除去手段係在裝置底部具備有:擋門(251a)~擋門(251e)(擋門251),該擋門是可開閉,當成為打開狀態時,取出反應後的藥劑;及狹縫部(252),該狹縫部係配置在擋門251之間,具有從上方朝向擋門(251)之斜面(S1、S2),並且在斜面(S1、S2)具有使分解氣體通過,而不會讓藥劑通過的尺寸大小之狹縫(252a)。


專利範圍

1.一種全氟化物的處理裝置,其特徵為:具有酸成分除去手段,該酸成分除去手段具備有:可進行開閉,當從關閉狀態成為打開狀態時,取出反應後的藥劑之藥劑取出部;及分解氣體導入部,該分解氣體導入部是配置在前述藥劑取出部之間,藉由使從上方朝向該藥劑取出部之兩個的斜面互朝反方向而形成山狀,且在該斜面具有使分解氣體通過而不會讓藥劑通過的尺寸大小之開口部。 2.一種全氟化物的處理裝置,其特徵為具備有:加熱手段,該加熱手段為用來加熱含有全氟化物的氣體及水,並且藉由預先所決定的觸媒將全氟化物予以加水分解而產生含有酸性氣體之分解氣體;熱交換手段,該熱交換手段係配置在前述加熱手段的前段及後段,在流入至該加熱手段之前的含有全氟化物的氣體及水與自該加熱手段流出後的分解氣體之間進行熱交換;酸成分除去手段,該酸成分除去手段係從自前述熱交換手段流出後的分解氣體,藉由使酸成分與藥劑產生反應,予以乾式除去;前述酸成分除去手段係在裝置底部具備有:可進行開閉,當從關閉狀態成為打開狀態時,取出反應後的藥劑之藥劑取出部;及分解氣體導入部,該分解氣體導入部是配置在前述藥劑取出部之間,具有從上方朝向該藥劑取出部之斜面,且在該斜面具有使分解氣體通過而不會讓藥劑通過的尺寸大小之開口部。 3.如申請專利範圍第2項之全氟化物的處理裝置,其中,前述藥劑取出部與前述分解氣體導入部係呈列狀交互地排列。 4.如申請專利範圍第2或3項之全氟化物的處理裝置,其中,前述分解氣體導入部的前述斜面係由相互朝向相反方向的2個斜面所構成。 5.如申請專利範圍第2或3項之全氟化物的處理裝置,其中,前述藥劑取出部為圓弧狀的擋門,該擋門藉由沿著預先訂定的旋轉中心移動來進行開閉動作。 6.如申請專利範圍第2或3項之全氟化物的處理裝置,其中,還具備從前述酸成分除去手段上方供給藥劑的藥劑供給手段,導入至前述酸成分除去手段的分解氣體係從該酸成分除去手段的上方排出。


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