基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體 SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS, SUBSTRATE TRANSFER METHOD, AND STORAGE MEDIUM
申請人· 東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED 日本 JP


專利信息

專利名稱 基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體
公告號 I517287
公告日 2016/01/11
證書號 I517287
申請號 2012/12/25
國際專利分類號
公報卷期 43-02
發明人 林德太郎 HAYASHI, TOKUTAROU; 道木裕一 DOUKI, YUICHI; 前島浩光 MAEJIMA, HIROMITSU
申請人 東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED 日本 JP
代理人 周良謀; 周良吉
優先權 日本 2012-022047 20120203
參考文獻 US6298280B1; US6405101B1; US7311738B2
審查人員 林弘恩

專利摘要

本發明旨在提供一種基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體,運送於周緣部設有缺口之圓形基板時,即使分別偵測該基板周緣部位置之感測器部之數量少,亦可高精度地朝模組運送基板。 其中實行下列者:第1及第2步驟,令固持有自第1模組接收之基板之基板固持部分別位於相對於該感測器部預先設定之第1位置、第2位置,偵測該基板周緣部各位置;第3步驟,辨別光源部之光照射區域位於該基板缺口之異常狀態之種類;及第4步驟,藉由第3步驟之辨別,選擇根據於該第1位置或第2位置偵測到的周緣部各位置決定相對於第2模組基板固持部之傳遞位置,還是於第3位置重新偵測基板周緣部各位置,根據該各位置決定該傳遞位置。


專利範圍

1.一種基板運送裝置,具有基板固持部,該基板固持部為了將在其周緣部設有缺口之圓形基板自第1模組朝第2模組運送,可沿橫方向任意移動,該基板運送裝置之特徵在於包含:基台,可繞鉛直軸旋轉,其上將該基板固持部設為可相對移動;感測器部,設於該基台,並具有:3座光源部,為偵測由該基板固持部所固持之基板的周緣部3處之位置,朝該周緣部中互異之位置照射光;及3座受光部,與該各光源部成對設置;驅動部,用來使該基板固持部相對於該感測器部相對移動;及控制部,為控制該基板固持部、驅動部及感測器部各動作而輸出控制信號;且該控制部輸出控制信號,俾實行下列各步驟:第1步驟,令固持有自該第1模組接收之基板之基板固持部位於相對於該感測器部預先設定之第1位置,並在使其靜止的狀態下偵測該基板周緣部各位置;第2步驟,令該基板固持部位於相對於感測器部偏離該第1位置之第2位置,並在使其靜止的狀態下偵測基板周緣部各位置;第3步驟,將光源部之光照射區域位於該基板缺口之狀態稱為異常狀態,此時根據該第1步驟及第2步驟各偵測結果,導出下列其中任一結果:a.於該第1位置及第2位置中任一者發生異常狀態,可確定該位置;b.於該第1位置及第2位置中任一者皆未發生異常狀態;c.於該第1位置及第2位置雙方均發生異常狀態;d.於該第1位置及第2位置中至少任一者雖發生異常狀態,但無法確定該位置;及第4步驟,當該第3步驟中之結果為a或b時,根據於該第1位置或第2位置偵測之周緣部各位置決定相對於第2模組基板固持部之傳遞位置;且當該結果為c或d時,為朝偏離該基板缺口之位置照射光,令該基板固持部相對於感測器部移動至與該第1位置及第2位置不同之第3位置,並在使其靜止的狀態下偵測基板周緣部各位置,根據該各位置決定該傳遞位置。 2.如申請專利範圍第1項之基板運送裝置,其中:該感測器部包含4對以上該光源部與受光部,當該4對以上光源部與受光部可使用時,藉由該等4對以上光源部與受光部偵測基板周緣部各位置。 3.如申請專利範圍第2項之基板運送裝置,其中:該控制部不實行該第1~第4步驟所構成之第1模式,代之以實行下列步驟所構成之第2模式:令固持有自該第1模組接收之基板之基板固持部位於相對於感測器部預先設定之第4位置,並在使其靜止的狀態下偵測該基板周緣部各位置;根據於該步驟偵測之周緣部各位置,判定是否已發生該異常狀態;及於該步驟判定未發生異常狀態時,根據於該第4


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專利資訊及圖示來源: 中華民國專利資訊檢索系統