材料供應裝置之過濾器 FILTER FOR MATERIAL SUPPLY APPARATUS
申請人· ASML荷蘭公司 ASML NETHERLANDS B. V. 荷蘭 NL


專利信息

專利名稱 材料供應裝置之過濾器
公告號 I528993
公告日 2016/04/11
證書號 I528993
申請號 2012/11/27
國際專利分類號
公報卷期 43-11
發明人 戴迪 西爾維亞 DE DEA, SILVIA; 克林奇 瑟吉 KALYNYCH, SERGEI; 包姆加特 彼得 BAUMGART, PETER
申請人 ASML荷蘭公司 ASML NETHERLANDS B. V. 荷蘭 NL
代理人 林嘉興
優先權 美國 13/330,884 20111220
參考文獻 TWI277840; US6315168B1; US2007/0267353A1; US2011/0310365A1
審查人員 曹世力

專利摘要

一種裝置供應一目標材料至一目標位置。該裝置包括:一容器,其收容一目標混合物,且該目標混合物包括該目標材料及多數非目標粒子;一供應系統,其收納來自該容器之目標混合物且將該目標混合物供應至該目標位置,該供應系統包括一管及一噴嘴,且該噴嘴界定該目標混合物通過之一孔口;及一過濾器,其在該管內且該目標混合物通過該過濾器。


專利範圍

1.一種用以供應一目標材料至一目標位置之裝置,該裝置包含:一容器(reservoir),其收容一目標混合物,且該目標混合物包括該目標材料及複數個非目標粒子;一供應系統,其收納來自該容器之該目標混合物且將該目標混合物供應至該目標位置,該供應系統包含:一毛細管,及位於該毛細管之一輸出部之一噴嘴,且該噴嘴界定該目標混合物通過之一孔口(orifice);及一過濾器,其在該毛細管內且該目標混合物通過該過濾器。 2.如申請專利範圍第1項之裝置,其中該過濾器是一燒結過濾器。 3.如申請專利範圍第1項之裝置,其中該過濾器及該毛細管係配置成使得該目標混合物通過該過濾器。 4.如申請專利範圍第3項之裝置,其中該過濾器包括該目標材料通過之複數個孔隙。 5.如申請專利範圍第4項之裝置,其中在該過濾器內之該等孔隙之尺寸係藉由該噴嘴及孔口之尺寸決定。 6.如申請專利範圍第5項之裝置,其中該噴嘴及該孔口之尺寸係藉由該目標材料之尺寸決定。 7.如申請專利範圍第3項之裝置,其中該等過濾器孔隙具有均一尺寸。 8.如申請專利範圍第3項之裝置,其中該等過濾器孔隙具有非均一尺寸。 9.如申請專利範圍第1項之裝置,更包含一在該供應系統上游之第二過濾器。 10.如申請專利範圍第9項之裝置,其中該過濾器具有一比該第二過濾器粗之孔隙結構。 11.如申請專利範圍第9項之裝置,其中該過濾器具有一比該第二過濾器細之孔隙結構。 12.如申請專利範圍第9項之裝置,其中該第二過濾器是一燒結過濾器。 13.如申請專利範圍第1項之裝置,其中該過濾器、該毛細管及該噴嘴中之一或多個係由玻璃構成。 14.如申請專利範圍第13項之裝置,其中該玻璃是熔融矽石或熔融石英。 15.如申請專利範圍第1項之裝置,其中該過濾器係與該毛細管形成一體。 16.如申請專利範圍第15項之裝置,其中該過濾器係與該毛細管之內壁結合。 17.如申請專利範圍第1項之裝置,其中該過濾器是一多孔燒結過濾器。 18.如申請專利範圍第1項之裝置,其中該過濾器係放在該毛細管內且與該噴嘴相鄰。 19.如申請專利範圍第1項之裝置,其中該過濾器係由一不與該目標混合物產生化學反應之材料構成(made of)。 20.如申請專利範圍第1項之裝置,其中該過濾器係由陶瓷構成。 21.一種用以供應一目標材料至一目標位置之方法,該方法包含:加熱一目標混合物之一塊物質(bulk substanc


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專利資訊及圖示來源: 中華民國專利資訊檢索系統