熱電偶用保護管
申請人· 日立國際電氣股份有限公司 HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. 日本 JP


專利信息

專利名稱 熱電偶用保護管
公告號 D174923
公告日 2016/04/11
證書號 D174923
申請號 2015/07/22
國際專利分類號 15-99
公報卷期 43-11
發明人 大坂晃弘 OSAKA, AKIHIRO; 山口英人 YAMAGUCHI, HIDETO; 竹脇基哉 TAKEWAKI, MOTOYA
申請人 日立國際電氣股份有限公司 HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. 日本 JP
代理人 林志剛
優先權 日本 2015-003915 20150225
參考文獻 TWD165984; JP369857
審查人員 徐銘夆

專利摘要

【物品用途】 本設計的物品是熱電偶用保護管,使用在用來對基板進行處理的基板處理裝置。 【設計說明】 本物品是配置在基板處理裝置的處理室周邊,利用設在內部的孔來設置熱電偶,而可測定處理室周邊的溫度。 「以斜線表示透明部的參考前視圖」中,斜線部分是表示透明部。


專利範圍


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專利資訊及圖示來源: 中華民國專利資訊檢索系統